圆形锉刀,开始轻轻地错零件中间的孔。
一边错,一边测量。
“把跟这个装配的07号、13号零件拆下来。”老头一边锉,一边对着旁边装配的技术人员说道。
在今天早上他们最后一次装配的时候,把所有需要更换的零部件给编了号。
零件很快被拆卸下来,老头把几个孔一边测量一边修后,开始配合上面原来的零件进行更小心的修理。
仅仅几个孔,就用了一个多小时的时间。
随后,老头把零件装配上,取下,再装配上,取下。
每一次重复的过程,都会用不同锉刀甚至砂纸修理已经变得光滑的孔。
一直到最后不再修理孔的时候,才开始用大一些的平锉修理外形。
一边锉,一边测量,随后开始用粗砂纸磨外形。
铣刀加工零件留下的刀痕,在锉刀的作用下,开始消失,随后不同的砂纸让表面更加光滑。
小零件是光刻机对准系统中一个非常关键的零件。
这个小零件是带动显微镜调焦使用的关键。
光刻机调焦机构移动轴带动着不停地进行细微移动,表面粗糙度达不到要求,会造成摩擦,从而形成位移误差,这个误差将会是好几个01毫米。
而这玩意儿的制造工艺精度是1微米,也就是001毫米!
正在修理的这台光刻机,这东西不仅变形了,同时也磨损了。
显微镜什么的都是好的。
只要解决了对焦系统的精度问题,确保工作台的移动精度能达到,再把其他的一些非核心关键的电子
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